品牌理念

喬納斯以獨特Ultra Fine Bubble超微細氣泡技術,AOP高級氧化還原技術,AIoT雲端人工智慧,

主要應用於水處理:增氧&抑菌&降氨氮,

農漁業:水耕種植&水產養殖,

醫療保健:水質淨化&氧化還原平衡,

電子半導體產業:晶圓清洗&AI伺服器零件清洗,

透過AIoT雲端人工智慧監控系統:收集&記錄&分析運行。

喬納斯秉持著服務與誠信,努力的開發符合綠能及人性化的產品,響應環保,創造綠淨生活。

超微細氣泡(UFB)於晶圓清洗之應用與益處

一、技術原理

超微細氣泡(Ultra Fine Bubble, UFB)係指直徑小於1微米的氣泡,具有高比表面積、長時間滯留於水中及界面帶電特性,能有效提升清洗效率。

二、主要益處

  1. 提高清洗效率:UFB在崩解時產生微射流與局部高能效應,有助於去除奈米級顆粒污染。
  2. 減少化學藥劑使用:可降低RCA清洗中化學藥劑用量,達成綠色製程。
  3. 改善表面潔淨度:UFB可進入微細結構與高深寬比結構中,提升清洗均勻性。
  4. 降低表面損傷:相較傳統機械清洗,UFB屬於非接觸式清洗,減少晶圓表面刮傷。
  5. 提升乾燥效果:氣泡崩解後有助於水膜破裂,加速乾燥。

三、應用場景

  1. CMP後清洗(去除SiO2 / CeO2顆粒)
  2. 蝕刻後清洗
  3. 最終清洗(Final Clean)

四、與傳統清洗比較

UFB可與Megasonic及化學清洗整合,提升效率並降低缺陷率。

五、未來發展

結合AIoT監控與AOP技術,可進一步優化半導體製程清洗品質與穩定性。